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氘 集成电路用气体 ESG0015 2022 ICMTIA 标准 图书 纸版

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ICMTIA 标准 纸版 集成电路用混合气体 图书 氩 2022 ESG0023 10%甲烷

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ICMTIA 标准 纸版 集成电路用混合气体 图书 氦 2022 ESG0014 30%氧

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图书 ICMTIA2 2019集成电路用过氧化氢 纸版

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集成电路用混合气体 10ppm氙 2022 3.5%氩 ICMTIA ESG0013 氖

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TG0011 2022 集成电路用高纯铝及铝合金溅射靶材 ICMTIA

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ICMTIA 集成电路用混合气体 氖 2022 ESG0012 1.25%氪

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BS0029 2022 集成电路材料产品成熟度等级划分及定义 ICMTIA

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集成电路材料产业技术创新联盟 2019 气体基础规范 ICMTIA

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SM0028 2022 集成电路用电子级多晶硅 ICMTIA

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ICMTIA 集成电路用混合气体 氮 2022 ESG0024 1.2%氦

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ICMTIA 集成电路用四氯化钛中杂质含量 电感耦合等离子体质谱法 2024 ESG0039 测定

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ESG0020 集成电路用气体 2022 锗烷 ICMTIA

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PC008 2021 集成电路用硝酸 ICMTIA

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集成电路用 干式 2020 ArF ICMTIA 5.1 光刻胶

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ESG0018 集成电路用气体 2022 乙烯 ICMTIA

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PC007 2021 集成电路用氢氟酸 ICMTIA

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ESG0019 集成电路用气体 2022 二氟甲烷 ICMTIA

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5.2 集成电路用ArF浸没式 2020 光刻胶 ICMTIA

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ICMTIA 电子工业混合气体 称量法 2022 ESG0022 制备

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ESG0026 集成电路用气体 2022 氯化氢 ICMTIA

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CM0035 半导体硅材料制程装 2023 置用密封垫片 ICMTIA

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ICMTIA 集成电路用混合气体 氮 2023 ESG0034 氟

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CM0033 2023 集成电路用氧化铝陶瓷制品 ICMTIA

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CMP0037 集成电路用聚氨酯 2023 类化学机械抛光垫 ICMTIA

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ESG0025 集成电路用气体 2022 氯气 ICMTIA

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ESG0031 2022 集成电路用电子特种气体产品通用规范 ICMTIA

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TG0036 2023 集成电路用高纯铝钪合金靶材 ICMTIA

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ICMTIA 集成电路用混合气体 氦 2022 ESG0014 30%氧

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