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微电子材料工程专业参考教材 半导体先进光刻理论与技术 光刻理论工艺材料设备关键部件分辨率增强建模与仿真典型物理与化学效应

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李思坤 半导体先进光刻理论与技术 译 安德里亚斯 爱德曼 化学工业出版 社 著 德

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异构集成技术 套装 共3册 技术丛书 三维芯片集成与封装 机械工业出版 社 技术 半导体先进封装

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